薄膜型光デバイス：HC-PECVD法やDC-pulseスパッタ法による機能性薄膜の成膜技術開発と応用【共同研究】
（追加予定）
KEYWORDS:
HC (Hollow-Cathode) PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) DCパルススパッタ 水蒸気バリア カルシウム腐食法
赤外計測：広波長域(VIS-NIR-IR)分光エリプソによるnk測定および光デバイス設計
（追加予定）
KEYWORDS:
分光エリプソメトリ― 赤外分光エリプソメータ VIS (Visible) NIR (Near Infra-Red) IR (Infra-Red)
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