2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2023年6月14日 yodah-lab 共用設備 【測】白色光干渉顕微鏡（xy面内の試料表面形状測定） 型式 Wyko NT9100 （2011年導入） メーカー Veeco（現 bulker） 主な仕様 ・計測モード： PSI(Phase-Shift Interferometry) VSI(Vertical […]
2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 【成】DCパルススパッタ装置 型式 多元スパッタ装置 （2011年導入） メーカー 富士R&D，ドイツFEP 主な仕様 ・基板対向式デユアルパルススパッタ源 独FEP製 DRM400・ターゲット： Si，Ti・ガス： Ar，O2，N2・スパッ […]
2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 【測】紫外-可視-近赤外 分光光度計＋自動測定ユニット 型式 V-670 ＆ ARMN-735 （2011年導入） メーカー 日本分光 主な仕様 ・透過率T，反射率R・波長 λ： 250~2000nm・入射角 θin： 0~85° step 0.1° (自動連続変更可！）・検 […]
