2020年7月23日 / 最終更新日時 : 2020年8月23日 yodah-lab film 【膜】薄膜や基板の分光測定における干渉性判別条件 先日，膜厚d=32μｍの透明フィルム（屈折率n＝1.46~1.47）を分光光度計で測定したところ，干渉性の波長域と非干渉性の波長域が混在する珍しい結果を得た．なお分光測定では白色光源を用い、回折格子により分光し、スリッ […]
2020年7月21日 / 最終更新日時 : 2020年10月6日 yodah-lab 研究室設備 【成】抵抗加熱蒸着装置 型式 EBH-6 （1975年導入） メーカー ULVAC 主な仕様 ・加熱機構：抵抗3基，電流~200A，開閉シャッター付・フィラメント：ボート型, バスケット型・排気系：RP，DP・真空計：ガイスラー, ピラニー, […]
2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 【測】触針式表面段差計（x方向の試料表面形状測定） 型式 Dektak 150 （2011年導入） メーカー ULVAC（現 bulker） 主な仕様 【垂直レンジ】6.5, 65.5μm ＊はっきり識別できる最小段差：(経験上)50nm【垂直分解能/測定レンジ】(最高) […]
