2020年8月4日 / 最終更新日時 : 2021年9月22日 yodah-lab 研究室設備 【熱】温湿度環境試験機 型式 SH-241 （2005年導入） メーカー エスペック 主な仕様 ・温度範囲：-40～150℃・湿度範囲：30～95%RH・運転モード：定値，プログラム(最大9ステップ)・内寸(㎜)：W300×H 300×D250 […]
2020年8月3日 / 最終更新日時 : 2022年4月8日 yodah-lab 共用設備 【成】HC-PECVD装置 型式 HC-PECVD（2020年導入） メーカー AGC-Plasma Technology Solutions，富士R&D 主な仕様 •カソード： Hollow Cathode(150mmx150mm)•電源 […]
2020年7月30日 / 最終更新日時 : 2020年10月8日 yodah-lab 共用設備 《学科共用》RFマグネトロンスパッタ装置＠406 型式 L-332S-FH （1996年導入） メーカー アネルバ 主な仕様 ・平行平板型マグネトロンスパッタ・RF電源：~600W・カソード：直径3インチ，3元・ターゲット：金属(Ag, Al, Co, Cr, CoCr […]
