2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 【測】触針式表面段差計（x方向の試料表面形状測定） 型式 Dektak 150 （2011年導入） メーカー ULVAC（現 bulker） 主な仕様 【垂直レンジ】6.5, 65.5μm ＊はっきり識別できる最小段差：(経験上)50nm【垂直分解能/測定レンジ】(最高) […]
2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2023年6月14日 yodah-lab 共用設備 【測】白色光干渉顕微鏡（xy面内の試料表面形状測定） 型式 Wyko NT9100 （2011年導入） メーカー Veeco（現 bulker） 主な仕様 ・計測モード： PSI(Phase-Shift Interferometry) VSI(Vertical […]
2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 【成】DCパルススパッタ装置 型式 多元スパッタ装置 （2011年導入） メーカー 富士R&D，ドイツFEP 主な仕様 ・基板対向式デユアルパルススパッタ源 独FEP製 DRM400・ターゲット： Si，Ti・ガス： Ar，O2，N2・スパッ […]
