2020年8月9日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 共用設備 《学科共用》抵抗加熱蒸着装置＠406 ※現在，故障中．．． 型式 JEE-400 （導入：1998年以前） メーカー JEOL 主な仕様 実績 ■Au 装置管理 入江教員，佐久間教員 装置利用 学科〇 ＊学科共用装置 ＊装置マニュアル（中部大学）
2020年8月3日 / 最終更新日時 : 2022年4月8日 yodah-lab 共用設備 【成】HC-PECVD装置 型式 HC-PECVD（2020年導入） メーカー AGC-Plasma Technology Solutions，富士R&D 主な仕様 •カソード： Hollow Cathode(150mmx150mm)•電源 […]
2020年7月30日 / 最終更新日時 : 2020年10月8日 yodah-lab 共用設備 《学科共用》RFマグネトロンスパッタ装置＠406 型式 L-332S-FH （1996年導入） メーカー アネルバ 主な仕様 ・平行平板型マグネトロンスパッタ・RF電源：~600W・カソード：直径3インチ，3元・ターゲット：金属(Ag, Al, Co, Cr, CoCr […]
