2022年3月17日 / 最終更新日時 : 2022年6月7日 yodah-lab 共用設備 【測】赤外域多入射角分光エリプソメータ 型式 IR-VASE （2011年導入） メーカー J.A. Woollam Japan（東京都） 主な仕様 ・波長範囲： 1.7～30μm（最大1.6～40μm）・波数分解能： 16，8，4cm-1・入射角： 26～9 […]
2020年8月9日 / 最終更新日時 : 2022年8月17日 yodah-lab 共用設備 《学科共用》マスクアライナー＠405 型式 MA-8C （導入：1993年以前） メーカー ミカサ 主な仕様 ・超高圧水銀灯：USH-250D（ウシオライティング）・i線（365nm），g線（436nm） 実績 ■g線ポジレジスト OFPR（東京応化工業）■ […]
2020年8月9日 / 最終更新日時 : 2020年8月23日 yodah-lab 共用設備 《学科共用》ダイヤモンドホイールソー＠107 型式 ISOMET 11-1180 （導入：1998年以前） メーカー BUEHLER社 主な仕様 ・回転数：0~300rpm・ホイール径：100mm・試料最大幅：？mm 実績 ■石英，シリコン 装置管理 入江教員，八巻 […]
