2020年7月25日 / 最終更新日時 : 2020年8月27日 yodah-lab film 【膜】無吸収膜の分光ピーク反射率から屈折率を算出する手順_演習付 基板上の無吸収膜に垂直入射して測定した反射スペクトルR(λ)から,基板(ns,k)の影響を除いた反射率RA(λ)を算出し,ノイズ除去のためフィッティングし,RA(λ)のピークにおける反射率RA,peakから屈折率n を算 […]
2020年7月23日 / 最終更新日時 : 2020年8月23日 yodah-lab film 【膜】薄膜や基板の分光測定における干渉性判別条件 先日,膜厚d=32μmの透明フィルム(屈折率n=1.46~1.47)を分光光度計で測定したところ,干渉性の波長域と非干渉性の波長域が混在する珍しい結果を得た.なお分光測定では白色光源を用い、回折格子により分光し、スリッ […]
2020年7月16日 / 最終更新日時 : 2022年6月5日 yodah-lab film 【膜】無吸収膜or弱吸収膜の分光ピーク波長から屈折率を算出する手順_演習付 基板上の無吸収膜or弱吸収膜に垂直入射して測定した反射スペクトル(または透過スペクトル)のピーク波長λmと,膜の物理膜厚dから,膜の屈折率波長依存性n(λ) を算出できる. 光学膜厚ndを厚くする(厚膜にする)ことで,取 […]