2020年7月29日 / 最終更新日時 : 2021年5月28日 yodah-lab 研究室設備 【成】(白の)RFマグネトロンスパッタ装置 型式 BSC-600A （1992年導入） メーカー シンクロン 主な仕様 ・RFマグネトロン＆反応性スパッタ・ターゲット：金属(Ag, Al, Au, Cr, Cu, Mo, Ni, Pt, SUS, Ta, Ti, […]
2020年7月29日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 yodah-lab 研究室設備 【成】電子ビーム(EB)蒸着装置《解放設備》 型式 JTR-5010RF-S ＊カスタム品（2003年導入） メーカー JEOL 主な仕様 ・EB銃（JEOL製）・水晶振動子式膜厚計付き・基板回転機構付き・蒸着材料：Al2O3, MgF2, Si, SiO2, Ta […]
2020年7月21日 / 最終更新日時 : 2020年10月6日 yodah-lab 研究室設備 【成】抵抗加熱蒸着装置 型式 EBH-6 （1975年導入） メーカー ULVAC 主な仕様 ・加熱機構：抵抗3基，電流~200A，開閉シャッター付・フィラメント：ボート型, バスケット型・排気系：RP，DP・真空計：ガイスラー, ピラニー, […]
