《学科共用》RFマグネトロンスパッタ装置＠406

型式	L-332S-FH　（1996年導入）
メーカー	アネルバ
主な仕様	・平行平板型マグネトロンスパッタ ・RF電源：~600W ・カソード：直径3インチ，3元 ・ターゲット：金属(Ag, Al, Co, Cr, CoCr, Cu, Fe, Nb, Ni), Si; SiO2(with BP) ・ガス：Ar，O2，Ar+O2 ・基板加熱：最高300℃ ・排気系：RP，DP ・真空計：サーモカップル(TC)， シュルツ，B-A(イオン)
実績	■Co, Cu, a-Si, ITO
装置管理	入江教員，佐久間教員，依田教員
装置利用	学科〇　＊学科共用装置

＊高融点金属の融点
＊建物改修前まで同室にドラフトチャンバーがあったため，パネルの一部が錆びてしまった．