【測】触針式表面段差計（x方向の試料表面形状測定）

型式	Dektak 150　（2011年導入）
メーカー	ULVAC（現 bulker）
主な仕様	【垂直レンジ】6.5, 65.5μm　＊はっきり識別できる最小段差：(経験上)50nm 【垂直分解能/測定レンジ】(最高)0.1nm/6.5μm 【測定距離】50μm～55mm 【測定時間】3～200秒 【触針圧】1～15mg 【触針半径】12.5 μm(標準), 2.5 μm(研究専用) 【ステージ移動範囲】XY：±50mm 【ステージ直径】約160mm 【最大試料厚】85mm
実績	■薄膜の厚さ（段差） ■薄膜の表面粗さ（RMS粗さ，うねり） ■試料の反り（曲率半径，圧縮or引張） ■試料の表面プロファイル（形状，高さ，深さ）
利用申請先	学内者…初回は，依田教員まで（Contactからご連絡ください）．2回目以降は，研究設備新共用システム から予約してください． 学外者…研究開発のユニークな目的でしたら依田教員までContactからご相談ください．本装置と併せて白色光干渉顕微鏡による３D評価も同時に行えます．　試料数が多く単純なルーチン測定には対応しておりませんので県産業技術センター機器（dektak）のご利用をお勧めします．
技術的問合先	依田教員（装置管理者）→Contact

＊スペース幅2aが狭く（ a < R ）かつ 膜厚dが厚い（ d > R-√(R^2-a^2) ）と，測定した厚さ（深さ）は見かけ上dより薄くなる．

測定例

■Line&Space(幅5μm：5μm)でパターニングしたレジストの表面プロファイル（触針R=2.5μm）