水素化アモルファスシリコン酸化膜がもつ特長（①屈折率の広範囲制御性(n=1.45～3.5), ②a-Si:Hの他物質より一桁大きな屈折率温度係数）を活かし、これまで，光ファイバ通信用途の波長フィルタ（狭帯域バンドパス フィルタ、チューナブル波長選択フィルタ、ヒットレスチューナブル波長選択フィルタ、ルゲート波長フィルタ）の開発に取り組んできました。

利用する研究設備
作製＆加工装置：　RFマグネトロンスパッタ装置　ダイシングソー　高温チャンバ　超音波洗浄器　
計測装置：　光学膜厚モニタ系　分光光度計　光スペアナ　赤外分光エリプソメータ　光学顕微鏡　チューナブルLD　ASE光源　グリーンレーザ　光マルチメータ　熱電対＋データロガー　dektak　TECファイバ　光ファイバ型デバイス（カプラ/サーキュレータ/アイソレータ）　微動ステージ
解析ソフトウェア：　光学薄膜解析　エリプソ解析　Python　VisualBasic

研究報告

【TOチューナブル波長フィルタ】

  • 大桐巧, 相京慎, 依田秀彦, “光誘起発熱によるTOチューナブル波長フィルタの光学特性評価,” 応用物理学会春季学術講演会, 22p-12A-2, 2024年3月.
  • 相京慎, 依田秀彦, “光通信用TOチューナブルNBPF多層膜成膜のための2並列光学膜厚モニタの開発,” 第14回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ECG_GNM-24-036, 2024年3月.
  • 大桐巧, 依田秀彦, “光誘起局所加熱によるTOチューナブルフィルタの波⻑シフト測定,” 第13回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-23-48, 2023年3月.
  • 紺野大志, 依田秀彦, “光通信用TOチューナブルフィルタの低損失化,” 第11回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-21-50, 2021年3月.
  • 紺野大志, 須藤航陽, 依田秀彦, “TOチューナブルフィルタの光学特性の温度依存性測定,” 第10回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-20-75, 2020年3月.
  • 須藤航陽, 戸賀沢舟, 依田秀彦, “光通信用TO-BPFチップの光ファイバ実装方法と省電力化に関する検討,” 第9回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-19-11, 2019年3月.
  • 戸賀沢舟, 北川大河, 依田秀彦, “光通信用TOチューナブル波長フィルタの作製と光ファイバへの実装,” 第8回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-18-100, 2018年3月.
  • 戸賀沢舟, 田村拓磨, 依田秀彦, “TOチューナブルフィルタの光学特性の温度依存性測定,” 第7回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-17-78, 2017年3月.
  • 北川大河, 田村拓磨, 依田秀彦, “光ファイバ集積型TOチューナブル波長フィルタの作製,” 第7回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-17-77, 2017年3月.
  • 田村拓磨, 依田秀彦, “マルチキャビティ型Si/SiOx多層膜フィルタの作製と光学特性評価,” 第6回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-16-36, 2016年3月.
  • 依田秀彦, 田村拓磨, “a-Si:D/SiNx多層膜フィルタの耐熱性,” 応用物理学会秋季学術講演会, 16a-2F-8, 2015年9月.
  • 田島正彦, 依田秀彦, “Si/SiNチューナブル波長フィルタの作製と評価に関する研究,” 第5回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-15-74, 2015年3月.
  • 水沼秀聡, 依田秀彦, “温度制御型チューナブル波長フィルタチップの局所加工による省電力化,” 第4回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-14-19, 2014年3月.
  • サナテムウォンビライ, 依田秀彦, “マルチキャビティ型Si/SiOx多層膜フィルタの作製,” 第4回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-14-20, 2014年3月.
  • 依田秀彦（分担執筆）, “第8章第27節　光学多層膜を用いた波長可変フィルタの設計と応用,” pp. 793-800, 「光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御」（金原粲 監修, 技術情報協会）, 2013年6月発刊.
  • 川崎将人, 依田秀彦, “Si/SiN多層膜フィルタの作製と評価,” 第3回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-12-61, 2013年3月.
  • サナテム ウォンビライ, 依田秀彦, “Si/SiOx多層膜フィルタの作製と消衰係数評価,” 第3回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-12-62, 2013年3月.
  • 水沼秀聡, 依田秀彦, “TOチューナブル波長フィルタ省電力化のための局部薄型加工,” 第3回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-12-60, 2013年3月.
  • 小檜山知弘, 依田秀彦, “TOチューナブル波長フィルタ用透明ヒータ膜の作製と評価,” 第3回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-12-11, 2013年2月.
  • H. Yoda, T. Tashiro, K. Shiraishi, and C. S. Tsai, “Response Evaluation of Tunable Optical Bandpass Filter Using a-Si:D/SiO2 Multilayer,” in Proc. the Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011 (AP-IRC 2011), Toyohashi, Japan, Nov. 17-18, 2011, paper 18PP-71, 1 page.
  • 田代拓也, 依田秀彦, “a-Si:D/SiO2多層膜 波長可変フィルタチップの応答評価,” 信学会東京支部学生会研究発表会, 講演番号175, 2011年3月.
  • 四ノ宮寛, 晴山貴行, 依田秀彦, “a-Si:D/SiO2多層膜を用いたマルチキャビティ型チューナブルバンドパスフィルタ,” 信学総大, C-3-52, 2010年3月.
  • 晴山貴行, 塚原直哉, 四ノ宮寛, 依田秀彦, 白石和男, “a-Si:Dを用いたチューナブル波長フィルタの温度特性,” 応用物理学関係連合講演会, 30p-TF-1, 2009年3月.
  • 依田秀彦, 白石和男, “光通信用光学薄膜,” O plus E 2008年8月号, vol. 30, no. 8, pp. 844-849, 2008年8月.
  • 塚原直哉, 依田秀彦, 白石和男, “a-Si:H/SiO2多層膜光波長フィルタのチューニング特性,” 信学会東京支部学生会研究発表会, 講演番号114, 2008年3月.
  • H. Yoda, K. Shiraishi, Y. Hiratani, and O. Hanaizumi, “a-Si:H/SiO2 multilayer films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering for optical filters,” Applied Optics, vol. 43, no. 17, pp. 3548-3554, Jun. 2004.
  • 田中大作, 依田秀彦, 白石和男, “水素化アモルファスシリコン多層膜を用いたチューナブル光フィルタ,” 信学総大, C-3-97, 2004年3月.
  • 依田秀彦, 白石和男, “シリコン酸化膜を用いた光通信用波長フィルタ,” 第14回日本MRS(The Materials Research Society of Japan)学術シンポジウム, M2-O04, 2002年12月.
  • 依田秀彦, 白石和男, “DWDM光通信用波長フィルタ,” 電気学会ミリ波調査専門委員会第２回公開研究会, 東京工業大学, 2002年12月.
  • 安田孝, 依田秀彦, 和気正知, 白石和男, “水素化アモルファスシリコン酸化膜から成る波長フィルタの作製,” 信学総大, C-3-77, 2002年3月.

[透明導電膜 ITiO（Ti doped ITO）]

  • 清水淳, 山本浩輔, 依田秀彦, “近赤外波長フィルタ用ITiO透明電極膜の特性評価,” 第6回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-16-86, 2016年3月.
  • 依田秀彦, 白石和男, “近赤外波長フィルタ用ITiO透明ヒータ膜の特性評価,” 応用物理学会秋季学術講演会, 13p-2Q-21, 2015年9月.
  • 小檜山知弘, 依田秀彦, “温度制御型波長選択フィルタ用透明ヒータ膜の作製,” 第4回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会, ETT-14-106, 2014年3月.
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