作製装置や加工装置

■真空装置、真空部品、(作製関連の)理化学機器■加工装置,熱処理装置
【真空装置】
・RFマグネトロンスパッタ装置
・(緑の) RFマグネトロンスパッタ装置
★DCパルススパッタ装置 @オプト4F
★HC-PECVD装置 @CDI1F
★ICP-RIE @CDI北1F
・電子ビーム蒸着装置
・抵抗加熱蒸着装置

【真空装置関連】
・サンドブラスター
・真空/電気/ガス/水/加熱のユーティリティ
・真空デシケータ+RP
・真空ピンセット

【理化学機器】
・超音波洗浄器
・温度制御付きスターラ(クールスターラ)
・スピンコータ
・静電気除去ブロア
テーブルKOACH
・パーティクルカウンター

★印は, 依田装置の 共同利用設備です
【光ファイバ加工】
・レンズドファイバ加工装置 FiberSmith
・ファイバ融着接続機
・ファイバコネクタ端面研磨機
・ファイバカッター

【切断・研磨加工】
・ダイシングソー
・自動精密研磨装置,樹脂加圧装置
・超音波ドリル
・卓上フライス-ボール盤
・卓上型バンドソー
・ガラスカッター
・ダイヤモンドペン(結晶基板用)

【熱処理】
・赤外線GI炉
・温湿度環境試験器
・小型高温チャンバ
・真空電気炉
・電気マッフル炉
・低温乾燥器
・ホットプレート
・ヒータ+温度指示調節計+SSR+TC

計測装置

■光測定装置■電源、電気測定器
【光スペクトル測定】
★赤外分光エリプソメータ IR-VASE
★紫外可視近赤外分光光度計 V-670
・紫外可視近赤外分光光度計 V-570
・光スペクトラムアナライザ(3)
・Hazeメータ

【NFP測定・像観察】
・ビームプロファイラ
・近赤外対応カメラ
・CCDカメラ
・マイクロヘッドカメラ
・近赤外用光学顕微鏡
・(可視)光学顕微鏡
・デジタルマイクロスコープ
・実体顕微鏡
・フェルール端面顕微鏡

【光パワー測定】
・光マルチメータ+センサーヘッド(多数)
・Siフォトディテクタ+増幅回路
・レーザエネルギーディテクタ

【関連】
・光偏波スクランブラ(~スペックルスクランブラ)
・光損失アナライザ
・インライン光減衰器
・リターンロス測定器/ユニット

★印は,依田装置の共同利用設備です


【電圧・電流源】
・DC安定化電源(7V×10A~2000V×2mA各種)
・任意波形ファンクションジェネレータ(2)
・プログラマブルDC電源
・バイポーラアンプ
・周波数コンバータ

【電圧/電流測定】
・デジタルロックインアンプ+ライトチョッパ
・データロガー
・デジタルマルチメータ
・デジタルオシロスコープ
・デジタルテスタ
・クランプテスタ

【抵抗測定】
・低抵抗測定計(<1MΩ,四探針法)
・高抵抗測定計(>1MΩ,二重リング法)
・キャパシタンスメータ

【温度測定】
・サーモグラフィカメラ(-10~+150℃)
・放射温度計(600~3000℃)
・K,T熱電対(TC)+データロガー

【表面プロファイラー】
★触針式表面段差計(dektak)
★白色光干渉顕微鏡(Wyko)

【厚み/角度 測定】
・デジマイクロスタンド(厚み)
・デジタルノギス(厚み)
・デジタル傾斜計(傾斜角)
・デジタルプロトラクター(角度)
■光源、光アンプ、(計測関連の)理化学機器■光学部品、光ファイバ
【光源】
・チューナブルLD光源 1.55μm帯(3),1.6μm帯(2)
・レーザ光源(VIS) 0.4, 0.53, 0.65
・レーザ光源(NIR) 0.98, 1.06, 1.31, 1.55, 1.59
・レーザ光源(IR) 10.6μm
・LED光源 0.85, 1.29, 1.31, 1.2-1.6μm
・ASE光源 1.55μm帯
・白色光源
・半導体LDチップ+LDコントローラ

【光アンプ】
・EDF光アンプ 1.5μm帯用

【UVランプ】
・UVファイバスポット照射装置
・UV照射ランプ
・UV光量メータ(波長290~390nm)

【理化学機器】
・電子天秤(max 65g 他)
・ハイトゲージ
・pHテスタ
・酸素濃度計





【光学部品】
・インライン波長可変フィルタ(応用光電)
・インライン1×2光スイッチ
・光ファイバコリメータ
・光ファイバカプラ 1.55,1.59,1.26-1.62μm帯
・光ファイバサーキュレータ 1.55,1.59μm帯,C+L帯
・光ファイバポラライザ 1.55μm,1.59帯
・光ファイバアイソレータ 1.55μm帯
・ミラー(平面, コーナーキューブ, 軸外放物面)
・レンズ
・無偏光ビームスプリッタ NPBS
・偏光プリズム PBS
・偏光板(VIS,NIR)
・1/4波長板(単波長; アクロマティック)
・1/2波長板(単波長)
・バビネソレイユ補償板
・フィルタ(SPF, LPF, BPF)
・ダイクロイックミラー(RGB)
・NDフィルタ(VIS,NIR), 減衰板

【光ファイバ】
・光ファイバ素線(SMF, GIF, PMF, TEC, DCF, GIO, PI耐熱)
・FC-UPC/APCコネクタ付光ファイバコード

【微動ステージ】
・自動(X, Z, θ, θ-2θ)
・手動(XYZ, XY, X, Z, θ, α)
・NI-DAQ+VCM型X軸ステージ
・ホルダー各種

解析ソフトウェア

■解析ソフトウェア(光関連)■解析ソフトウェア(光関連以外)
・BPM
・FDTD
・RCWA
・EME
・光学薄膜解析
・光線追跡解析
・エリプソ解析 WVASE
・熱伝導解析
・Mathematica
・LabVIEW
・Python
・Fortranコンパイラ
・Visual Studio(VB)