2020年7月18日 / 最終更新日時 : 2024年7月8日 yodah-lab 共用設備 【加】高密度プラズマエッチング(ICP-RIE)装置 ※現在故障中(静電チャック電極からのリーク判明;修理費用(数100万)確保できず断念)のため,利用できません. 型式 CE-300I (2011年導入) メーカー ULVAC 主な仕様 ・エッチングガス: Ar,Ar+ […]
2020年7月16日 / 最終更新日時 : 2022年6月5日 yodah-lab film 【膜】無吸収膜or弱吸収膜の分光ピーク波長から屈折率を算出する手順_演習付 基板上の無吸収膜or弱吸収膜に垂直入射して測定した反射スペクトル(または透過スペクトル)のピーク波長λmと,膜の物理膜厚dから,膜の屈折率波長依存性n(λ) を算出できる. 光学膜厚ndを厚くする(厚膜にする)ことで,取 […]
2020年7月11日 / 最終更新日時 : 2020年8月23日 yodah-lab VIS-NIR 【VIS+NIR】nkデータ of 水板スライドガラス(S2226) 試料:*水板スライドガラス (S2226)*基板厚: 1.25mm 測定:*分光光度計(V-670)+絶対反射率測定ユニット*波長 WL: 400-2000nm(VIS/NIR切替:850nm)*入射角: 5°*反射率 […]