【測】白色光干渉顕微鏡(xy面内の試料表面形状測定)
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型式 | Wyko NT9100 (2011年導入) |
メーカー | Veeco(現 bulker) |
主な仕様 | ・計測モード: PSI(Phase-Shift Interferometry) VSI(Vertical Scanning Interferometry) ・光源波長: 0.535μm(PSI-Low Mag),白色(VSI) ・z方向測定高さ: 0.1nm~10μm(PSI),1nm~10mm(VSI) ・対物レンズ(Turret): x5,x50 ・内部レンズ(FOV): x1,x0.55 ・xy測定範囲と分解能: 別表参照 ・NA: 0.12 (x5),0.55 (x50) ・作動距離: 6.7mm (x5),3.4mm (x50) ・焦点深度: 37μm (x5),2μm (x50) ・最大斜面角度: 3.8°(x5),26.7°(x50)* *斜面計測は不得手.急斜面を含む試料は他装置で測定がbetter. ・Zygo NewView7300 40°(x100 @NA0.80) ・オリンパス OLS4000 54°(x50,x100 @NA0.95) *レーザ顕微鏡と違いは こちら(株日本レーザのWebサイト). |
実績 | ■薄膜の厚さ分布(段差の面内分布) ■薄膜の面内表面粗さ(RMS粗さの面内平均,うねりの方位依存性) ■試料の反り分布(曲率半径の面内分布,圧縮or引張) ■試料の表面プロファイル(立体的な形状) |
利用申請先 | 学内者…初回は,依田教員まで(Contactからご連絡ください).2回目以降は,研究設備新共用システム から予約してください. 学外者…研究開発のユニークな目的でしたら依田教員までContactからご相談ください.本装置と触針式表面段差計を併用することでz方向絶対値の信頼性も確認できます. 試料数が多く単純なルーチン測定には対応しておりませんので,県産業技術センター機器(光干渉)のご利用をお勧め致します. |
技術的問合先 | 依田教員(装置管理者)→Contact |
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測定例
■フレネルレンズの表面プロファイル
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■パターニングした光学薄膜の厚さ分布
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