【測】触針式表面段差計(x方向の試料表面形状測定)
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型式 | Dektak 150 (2011年導入) |
メーカー | ULVAC(現 bulker) |
主な仕様 | 【垂直レンジ】6.5, 65.5μm *はっきり識別できる最小段差:(経験上)50nm 【垂直分解能/測定レンジ】(最高)0.1nm/6.5μm 【測定距離】50μm~55mm 【測定時間】3~200秒 【触針圧】1~15mg 【触針半径】12.5 μm(標準), 2.5 μm(研究専用) 【ステージ移動範囲】XY:±50mm 【ステージ直径】約160mm 【最大試料厚】85mm |
実績 | ■薄膜の厚さ(段差) ■薄膜の表面粗さ(RMS粗さ,うねり) ■試料の反り(曲率半径,圧縮or引張) ■試料の表面プロファイル(形状,高さ,深さ) |
利用申請先 | 学内者…初回は,依田教員まで(Contactからご連絡ください).2回目以降は,研究設備新共用システム から予約してください. 学外者…研究開発のユニークな目的でしたら依田教員までContactからご相談ください.本装置と併せて白色光干渉顕微鏡による3D評価も同時に行えます. 試料数が多く単純なルーチン測定には対応しておりませんので県産業技術センター機器(dektak)のご利用をお勧めします. |
技術的問合先 | 依田教員(装置管理者)→Contact |
*スペース幅2aが狭く( a < R )かつ 膜厚dが厚い( d > R-√(R^2-a^2) )と,測定した厚さ(深さ)は見かけ上dより薄くなる.
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/07/Space幅が狭い場合の凹プロファイル-1-845x1024.png)
測定例
■Line&Space(幅5μm:5μm)でパターニングしたレジストの表面プロファイル(触針R=2.5μm)
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/07/r60_g80_2.jpg)
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