【VIS+NIR】nkデータ of a-Si:D膜
- 試料:
*a-Si:D/石英基板
*成膜方法: スパッタ
*膜厚: 1990nm
*基板厚: 0.5mm - 測定:
*分光光度計(V-570)+絶対反射率測定ユニット
*波長 WL: 400-2000nm(VIS/NIR切替:850nm)
*入射角: 5°
*反射率 R1: 有効数字3桁または小数第1-2位まで
*透過率 T1: 有効数字3桁または小数第1-2位まで
*測定日: 2018/11/23 - 解析:
*屈折率 n_fit: 有効数字3-4桁;K-K関係なし
*消衰係数 k_smooth: 有効数字1-2桁;K-K関係なし
*nkデータ名: (n,k)a-SiD_b81123【A】
*プログラム: CalcNK_v4.7 - メモ:
*特記なし
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/08/image-42.png)
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WL(nm) n k
2000 3.474 0.00001
1550 3.488 0.00001
905 3.620 0.00353
…
650 3.780 0.01778
550 3.960 0.03999
450 4.528 0.14060