【VIS+NIR】nkデータ of a-Si:D膜

  • 試料:
    *a-Si:D/石英基板
    *成膜方法: スパッタ
    *膜厚: 1990nm
    *基板厚: 0.5mm
  • 測定:
    *分光光度計(V-570)+絶対反射率測定ユニット
    *波長 WL: 400-2000nm(VIS/NIR切替:850nm)
    *入射角: 5°
    *反射率 R1: 有効数字3桁または小数第1-2位まで
    *透過率 T1: 有効数字3桁または小数第1-2位まで
    *測定日:  2018/11/23
  • 解析:
    *屈折率 n_fit: 有効数字3-4桁;K-K関係なし
    *消衰係数 k_smooth: 有効数字1-2桁;K-K関係なし
    *nkデータ名: (n,k)a-SiD_b81123【A】
    *プログラム: CalcNK_v4.7
  • メモ:
    *特記なし
反射率(細線:測定,太線:計算)
透過率(細線:測定,太線:計算)
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WL(nm) n k
2000 3.474 0.00001
1550 3.488 0.00001
905 3.620 0.00353

650 3.780 0.01778
550 3.960 0.03999
450 4.528 0.14060

IR

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