《学科共用》マスクアライナー@405
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/08/image-21-1024x718.jpg)
型式 | MA-8C (導入:1993年以前) |
メーカー | ミカサ |
主な仕様 | ・超高圧水銀灯:USH-250D(ウシオライティング) ・i線(365nm),g線(436nm) |
実績 | ■g線ポジレジスト OFPR(東京応化工業) ■g線ネガレジスト OMR(東京応化工業) |
装置管理 | 入江教員,依田教員 |
装置利用 | 学科〇 *学科共用装置 |
*1993年以前に東北大から譲渡された25年前の装置. 修理サポート終了.
*稼働中だが,老朽化(一部故障):自動開閉シャッター,試料ステージ.