【成】抵抗加熱蒸着装置
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/07/image-96-734x1024.png)
型式 | EBH-6 (1975年導入) |
メーカー | ULVAC |
主な仕様 | ・加熱機構:抵抗3基,電流~200A,開閉シャッター付 ・フィラメント:ボート型, バスケット型 ・排気系:RP,DP ・真空計:ガイスラー, ピラニー, B-A ・ガラス製ベルジャー |
実績 | ■金属薄膜(Ag, Al, Au, Ca, Cu) ■Ca/Al:水蒸気バリア性能評価用 ※実験中 |
装置管理 | 依田研究室 |
装置所有 | 学科○/学部△/学外× *ご相談ください |
*高融点金属の融点
型式 | EBH-6 (1975年導入) |
メーカー | ULVAC |
主な仕様 | ・加熱機構:抵抗3基,電流~200A,開閉シャッター付 ・フィラメント:ボート型, バスケット型 ・排気系:RP,DP ・真空計:ガイスラー, ピラニー, B-A ・ガラス製ベルジャー |
実績 | ■金属薄膜(Ag, Al, Au, Ca, Cu) ■Ca/Al:水蒸気バリア性能評価用 ※実験中 |
装置管理 | 依田研究室 |
装置所有 | 学科○/学部△/学外× *ご相談ください |
*高融点金属の融点