【基板】無吸収基板の反射/透過の式_演習付
- 未成膜の無吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(Rs)や透過率の値から,基板の屈折率(ns)や片面反射率(R0)を概算できます.
- さらに,片面成膜の無吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(R)や透過率の値から,R0の影響を取り除き,成膜面の反射率(RA)や透過率を算出できます.
*入射角5度であれば,垂直入射と同等とみなせます.
*分光反射率R(λ)と分光透過率T(λ)を測定し,R+Tがほぼ100%となる波長域λに適用できます.
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/07/透明基板における反射と透過の式v1_ページ_1-2-936x1024.jpg)
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/07/透明基板における反射と透過の式v1_ページ_2-2-773x1024.jpg)
演習
基板の片面反射率から,基板の屈折率を求める計算演習をやってみましょう.
(1) 上記サイトにて,Air/基板の構造にして反射率 R0(λ) を計算し,データを保存します.
(2) 上記資料式(2)にR0(λ) を代入すれば,基板屈折率の波長特性 ns(λ) を求めることができます.
計算例
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/07/片面反射率,透過率.jpg)
![](http://www.ee.utsunomiya-u.ac.jp/yoda-lab/wp/wp-content/uploads/2020/07/両面反射率,透過率.jpg)