【基板】弱吸収基板の反射/透過の式

• 弱吸収基板として，反射率＋透過率=80～99.5%（光吸収率=0.5～20%）程度であり，その厚さが概ね0.1mm以上の基板を想定します．
• 弱吸収基板では，片面反射率(R₀)が透明基板のそれと同じとみなせますが，ポテンシャル透過率(A)が1より小さくなるので光吸収を生じます．
• 未成膜の弱吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(R_s)や透過率の値から，基板の消衰係数(κ)を概算できます．
• さらに，片面成膜の弱吸収基板に垂直入射して測定された両面反射率(R)や透過率の値から，R₀やAの影響を取り除き，成膜面の反射率(R_A)や透過率を算出できます．

＊入射角5度であれば，垂直入射と同等とみなせます．
＊基板表面は光学研磨されており，光散乱＝０とみなします．
＊分光反射率R(λ)と分光透過率T(λ)を測定し，R+T=80～100%となる波長域λに適用できます．

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